广东省大湾区集成电路与系统应用研究院为国家自然基金依托单位、省级重点实验室、高水平创新研究院、新型研发机构、工程技术研究中心和广州市博士后创新实践基地科研平台，担任中国集成电路零部件创新联盟秘书处单位、广东省集成电路行业协会副会长单位等；于2022年11月筹建成立零部件研究院，并联合芯源微、华海清科、中科仪、上海隐冠、中科九微、浙江启尔、常州玉宇等龙头骨干企业共建7家零部件联合研发中心，为广东集成电路零部件产业的发展注入了强劲动力。

研究院由国家02专项总师叶甜春领军，引进欧洲科学院院士Henry Homayoun Radamson教授，IEEE Life Fellow & Andy Grove奖获得者、FDSOI技术奠基人之一Sorin Cristoloveanu教授，以及来自台积电、三星半导体、意法半导体、博世等顶尖企业工程人才，组建了一支国内领先的集成电路零部件技术高水平复合型科研团队。研究院目前在册职工约200人，科研人员占比超80%，硕博人才占比60%。

科研创新方面，研究院在先进制程的工艺、器件方面取得突破，同时开展了真空系统、超洁净流控零部件、半导体制程应用光源系统等集成电路核心零部件研发。先后承担国家专项、广东省及广州市集成电路领域重大专项合计23项；发明专利359项（已授权123项）；SCI论文85篇；荣获中国产学研合作创新成果二等奖等。